氦質譜泄漏檢測一種以氦為示漏氣體的專用檢漏儀。具有性能穩定、靈敏度高的特點。它是真空檢漏技術中靈敏度較高、應用較廣泛的檢漏儀。氦質譜檢漏儀方法已廣泛應用于真空檢漏技術領域。該方法的優點是：

檢漏靈敏度高，可檢漏10-11Pam3/s 數量級、儀器響應快、氦分子在儀器高真空環境中擴散快；因此，氦質譜檢漏儀廣泛應用于宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等航空航天領域。在一般工業領域，原子能、發電廠、配電站、合成氨氮肥生產廠、汽車制造業、造船業、制冷業、冶金業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝不能與泄漏問題分開，導彈彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件密封使用氦質譜泄漏檢測器，本文主要總結了氦質譜檢漏儀的原理和方法。

氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析儀。單級磁偏轉型儀的靈敏度為10-9~10-12Pam3/s，廣泛應用于各種真空系統和部件的檢漏。與單級磁偏轉型儀器相比，本底噪聲明顯降低。其靈敏度可達10-14~10-15Pam3/s，適用于超高真空系統、部件和部件的泄漏檢測。逆流氦質譜泄漏檢測器改變了傳統儀器的結構布局，檢測部件放置在泄漏檢測器主泵的前部，具有高壓泄漏檢測、無液氮、質譜室污染小的特點。適用于泄漏率大、真空衛生差的真空系統，靈敏度可達10-12Pam3/s。