與螺桿式壓縮機類似，螺桿式干式真空泵的工作過程可分為三個過程：吸氣、壓縮和排氣。隨著轉子的旋轉，每對嚙合的齒完成了相同的工作循環，現在用其中一對齒來解釋。在吸氣過程中，陽轉子逆時針旋轉，陰螺釘順時針旋轉。

螺桿式干式真空泵的吸氣過程：1。吸氣過程即將開始 2.吸氣過程中 3.吸氣過程結束

當吸氣過程即將開始時，轉子位置。此時此刻，這對齒前端的型線完全嚙合，即將與吸氣口連接。隨著轉子開始旋轉，由于齒的一端逐漸脫離嚙合，齒體積的擴大在其內部形成了一定的真空，而齒體積只與吸氣口連接，因此氣體在壓差下流入。在隨后的轉子旋轉過程中，陽轉子齒不斷從陰轉子齒的齒槽中分離出來，齒間體積不斷擴大，與吸氣孔連接。在吸氣過程結束時，轉子位置較顯著的特點是齒間體積達到較大值。研究的齒間體積不會隨著轉子的旋轉而增加。在這個位置，齒問體積與吸氣孔斷開，吸氣過程結束。

螺桿式真空泵的壓縮過程：1。壓縮過程即將開始 2.壓縮過程中 3.壓縮過程結束，排氣過程即將開始

螺桿泵壓縮過程即將開始時的轉子位置.此時，氣體被轉子齒和外殼包圍在一個封閉的空間中，由于轉子齒的嚙合，齒間體積將開始減小。由于轉子齒旋轉，由于轉子齒的嚙合，齒間體積不斷減小。密封在齒間體積中的氣體占用體積也減小，導致壓力升高，從而實現氣體的壓縮過程。壓縮過程可以持續到齒間體積即將與排氣孔連接。

排氣過程：a、排氣過程中 b、排氣過程結束

螺桿泵的排氣過程。齒體積與排氣孔連接后，開始排氣過程。隨著齒體積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔排出，直到齒末端的線完全嚙合。此時，齒體積中的氣體通過排氣孔完全排出，封閉齒體積變為零。

從上述螺桿式干式真空泵的工作原理可以看出，螺桿式干式真空泵是一種工作體積作為旋轉運動的體積式機械真空泵。氣體的壓縮取決于體積的變化，體積的變化取決于螺桿泵的一對轉子在殼體內的旋轉運動。其工作客戶積累在周期性擴大和縮小的同時，其空間位置也在變化。

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