真空設備設計注意事項

1.真空設備的總允許漏率根據設備的工藝要求確定，每個組件的較大允許漏率根據總漏率確定。

2、初步確定設計階段將采用的泄漏檢測方法，并將其作為指導調試驗收的基本原則之一。

3.根據設備或部件的較大允許泄漏指標，確定設備的密封、連接方式和整體加工精度，以及能夠滿足要求的動態密封形式。例如，法蘭用金屬或橡膠密封。

4設計容器結構強度時，應考慮被檢件的耐壓性和結構強度。

5.在選擇零件結構材料時，考慮是否使用可能被工作介質和泄漏氣體腐蝕損壞的材料。

6.在結構設計中，應在容器或系統上留下必要的泄漏檢測儀器備用接口，以便在設備組裝和調試過程中使用泄漏檢測。特別是對于大型復雜的管道系統，通常需要采用分段泄漏檢測方法。因此，應在管道上設置分段隔離閥，并在每個隔離段上預留泄漏檢測儀器接口。

7、在設計零件結構時，盡量避免使用可能干擾泄漏檢測的設計方案。例如，真空室內的螺釘孔不能采用盲孔的形式，因為螺釘安裝后，螺釘孔內剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛擬泄漏。從而延長系統的排氣時間，干擾泄漏檢測的正常進行。如圖所示，真空泄漏檢測中不應出現的結構。

8.類似地，結構設計中不允許連續雙面焊縫和多層密封圈結構，因為寄生體積中的氣體在中間形成虛擬泄漏；當內外焊縫或密封圈同時泄漏時，寄生體積使泄漏氣體通過雙層焊縫響應時間過長，無 常檢漏。

9.在設計焊接結構時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。