組合真空泵的修復方法類似于以前的一些故障修復方法。在某些情況下，維護Z165泵時，將詳細說明維護過程。這是油浸式組合泵，也有油封式，維護方法相似。例如：有一個Edward E2M275組合泵。使用兩年后，發現極限真空度降低，需要維修。

首先根據組合泵的拆卸和組裝步驟進行拆卸和清洗：拆卸端蓋，取出轉子和轉子，用汽油清洗去除雜質，然后干燥，測量組件的尺寸公差，然后檢查磨損情況。通常，轉子非常磨損。在測量過程中，如果表面或端面磨損較多，但不超過公差，則只能去除毛刺。如果超過公差范圍，則應更換新的轉子。轉子槽類似于轉子，有時會嚴重磨損。如果在4到5根導線中，可以用細文件輕輕校正，使轉子槽兩側平行。如果磨損過大，必須更換轉子或改變厚度。然后，用內千分尺測量兩個腔（兩個）的內徑，并檢查泵腔是否有錐度。

如果錐度較小，可以使用周圍的刀。如果錐度較大，則必須使用內圓。精度應為V8.然后，圓的端面應與間隙相匹配。槽稍微張開，兩端之間的距離大于0.00毫米。更換新的旋轉刀片后，必須比原來的旋轉刀片稍厚。因此，在修復轉子槽后，只需適當地去除毛刺和修復旋轉刀片，使旋轉刀片與兩個端蓋之間的間隙約為0.015毫米。

然后用Versand擦拭旋轉刀片和轉子槽，使兩者平滑平行。最后，按照五件式組合泵的組裝方法進行組裝，然后使用反向組裝方法（圖4-3）確保上切點之間的歐洲調整范圍為0.01?0.005 mm。擰緊固定螺栓后，使用蟲膠溶液在泵的外部接頭上涂幾遍。當然，在組裝之前，應通過刮擦和磨削使每個部件的密封表面變平，較好彼此實現光學配合。組裝完成后，將紫膠漆液干燥，然后泵送油。較終，由熱電偶真空計測量的泵端口的真空度達到了92格（4×10-Torr）。抽水兩天后，如果泵油變黑，可以再次更換。真空穩定后，送到車間接受。