真空設備的泄漏檢測方法和可用的檢測儀器種類繁多。根據所使用的儀器類型，可分為鹵素泄漏檢測方法、氦質譜泄漏檢測方法等類型的泄漏檢測方法。壓力泄漏檢測方法和真空泄漏檢測方法可根據泄漏檢測真空室的不同狀態進行劃分。本文主要分析了真空的后一種分類方法，列出了具體的泄漏檢測方法類型及其相應的較小泄漏檢測率。

真空鍍膜設備

一、壓力檢漏法

將一定壓力的泄漏物質充入檢測真空室。如果真空室上有泄漏，泄漏物質將從泄漏孔中泄漏。用一定的儀器或方法檢測真空室外泄漏的泄漏物質，以確定泄漏的存在、具體位置和泄漏大小。目前，壓力泄漏檢測方法的真空系統泄漏檢測方法包括：

1、水壓法。水壓法較小可檢漏率為1.3-5.3×10??Pa?L?s?1；

2、壓降法。壓降法的較小可檢漏率為1. a?L?s?1；

3、聽音法。聽音法較小可檢漏率為5. a?L?s?1；

4、超聲法。超聲法的較小可檢漏率為1. a?L?s?1；

5、氣泡法。氣泡法又分為水泡法和皂泡法，水泡法的較小泄漏率一般為102~10?a?L?s?1，24小時累時可達10小時2~10?a?L?s?1；皂泡法較小可檢漏率為6.7×10?a?L?s?1；

6、鹵素檢漏儀吸嘴法。鹵素檢漏儀吸嘴法較小可檢漏率為103~10??Pa?L?s?1；

7、氨檢漏法。氨檢漏法由于工作條件(充氣)不同，較小可檢漏率不同；

8、放射性同位素氣體法。放射性同位素氣體法的較小可檢漏率為1.3×10??Pa?L?s?1；

9、氦質譜檢漏儀吸嘴法。氦質譜檢漏儀吸嘴法的較小可檢漏率為10??~10??Pa?L?s?1。

二、真空檢漏法

由于檢測到的真空室和泄漏檢測裝置的敏感元件處于真空環境中，在檢測到的真空室外施加到的真空室外果檢測到的真空室有泄漏，泄漏材料將通過泄漏進入真空室和泄漏檢測裝置的敏感元件區域，然后檢測到泄漏材料，從而檢測到泄漏的存在 確定位置及其尺寸。真空系統檢漏方法有：

1、真空檢漏法、真空檢漏設備包括熱偶或電阻真空規、電離真空規、熱傳導真空規差組合、電離真空規差組合、熱傳導規、液氮冷卻活性炭陷阱、冷陰極電離規、液氮冷硅膠陷阱等。較小泄漏率低至101oPa?L?s?1，高至10?a?L?s?1；

2、高頻火花檢漏法較小可檢漏率為1~10?1Pa?L?s?1；

3、放電管法的較小可檢漏率為1~10?1Pa?L?s?1；

4、靜態升壓法的較小可檢漏率為102~10?a?L?s?1；

5、氦質譜檢漏法的較小可檢漏率為10??10?11Pa?L?s?1。

6、離子泵泄漏檢測方法的較小可檢泄漏率為10?較小可檢較小可檢較小可檢泄漏率為；

7、鹵素檢漏儀內探頭法較小可檢漏率為10~4×10?；

8、氫-鈀法較小可檢漏率為10~10??Pa?L?s?1；

三、放射性同位素法、熒光法等真空設備檢漏方法。