?油擴散泵是高超濾裝置常常應用的泵種,采用一些技術措施,能夠得到 超高真空泵,其方? 法有以下幾類? (1)采用特性好的擴散泵油? 泵油對油擴散泵極限工作壓力危害非常大,如應用3號擴散泵油,其極限工作壓力只有做到10-5? Pa,而改成了275甲基硅油,其極限工作壓力能做到10-Pa,極限工作壓力提升 兩個量級。次之被抽? 汽體的分工作壓力也隨泵油的不一樣而轉變,這就是泵油成份產生的危害。因此用食油擴散泵得到 超? 高真空泵,務必挑選特性好的擴散泵油。對擴散泵油的規定是:泵油的相對性含量要大,常溫下? 下的蒸汽壓要低,耐熱性和抗氧化好些,凝點和超低溫粘度要低、要無毒性、抗腐蝕、成? 本要低。擴散泵油的技術參數見表4-38所示。

如今高真空泵油擴散泵廣泛選用3號擴散泵油,超高真空泵選用甲基硅油,規定沒有氮氧化合物? 的超高超濾裝置,擴散泵選用氟油。? (2)選用有效的烘烤技術性? 用食油擴散泵得到 超高超濾裝置都開展高溫烘烤,目地是降低原材料的排氣速度。原材料在大? 標準氣壓下都能消化吸收和吸咐一些汽體,當處在真空泵里時,便造成解析,使汽體遲緩地釋放出,
為了更好地加快解析,選用姒烤? 原材料的不一樣,挑選的烘烤溫度也不一樣,標準是溫度高一些好,能夠加**氣,但也要考? 慮到原材料是不是能承受得往高溫,烘烤溫度要挑選適合。一般金屬復合材料,如不銹鋼板,烘烤溫度? 為250~450℃,非金屬材質烘烤溫度為80~100℃,烘烤時間4-8h之上。極高真空泵的烘烤? 時間在24小時之上。典型性金屬材料油擴散泵系統軟件(烘烤后)的特性和金屬材料油擴散泵超高超濾裝置中? 剩下汽體成分見表4-37和表4-39所顯示。
(3)提升冷阱設備避免 泵油反流和轉移? 泵油根據泵的通道流入被抽器皿的狀況稱為反流。油分子結構順著器皿壁挪動進到被抽器皿? 壁的狀況稱為轉移。不管反流或者返轉移都是會危害超濾裝置的極限工作壓力。冷阱普遍用以超高? 超濾裝置,它裝在泵通道和被抽器皿(亦稱真空系統)中間,不但能合理地收集擴散泵的反流? 蒸汽及一部分分裂解物,并且可抽除來源于真空系統的蒸汽。配有各種冷阱的超高超濾裝置,歷經? 完全的高溫烘烤去氣后,可得到 10-8~10-10Pa(或高些)的超高真空值。常見的冷阱是液? 氮冷阱,由于在液態氮溫度下,泵油的蒸汽工作壓力大大的小于超高歷經完全的高溫烘烤去氣后,可? 得到 10-8~10-10Pa(或高些)的超高真空值。常見的冷阱是液態氮冷阱,由于在液態氮溫度下? 泵油的蒸汽工作壓力大大的小于超高真空值的規定。但設計方案液態氮冷阱時務必確保根據阱的分子結構都是會碰? 到涼面上,另外阱的構造要有效。裝上液態氮冷阱后,油擴散泵的泵效減少不高過40%? (4)降低被抽汽體反外擴散? 被抽汽體反外擴散是限定擴散泵得到 高真空泵要素之一。汽體反外擴散和分子質量相關。品質? 愈小,愈易反外擴散。擴散泵抽氫的時候容易反外擴散,避免 氫反外擴散方式有二種:其一,減少擴散泵? 出入口排氣管工作壓力,選用2個擴散泵串連來完成;其二是在擴散泵進風口管道上安裝液態氮制冷的? 鈦提升阱來收集反外擴散的氫