渦輪泵分子泵抽氣機組? 圖3-24得出的是一個在真空室和分子泵中間設立閘閥、冷阱的極高超濾裝置,其粗抽? 管路和前級管路與圖3-23擴散泵抽真空系統軟件同樣。分子泵的前級泵尺寸的規定卻和擴散泵不? 同。擴散泵的一切正常運行規定前級泵具備充足大的抽速,在較大 排量時保證 前級氣體壓強小于擴? 散泵臨界值前級壓力。渦輪分子泵則規定挑選具備充足容積的前級泵,使挨近前級管路的葉? 片在較大 排量時處在分子結構流或是恰好處在過渡流。大部分分子泵的較大 恒定進風口壓力? p約為0.5~1Pa,較大 前級壓力P前約為30Pa,因此 分子泵在較大 排量時的發動機壓縮比? (pm/p人)或前級泵的抽速與分子泵抽速之比(S/S人)在30~60中間。規定前級管路氫? 分壓電路小的系統軟件,配備的抽速比應是20:1。江南
渦輪分子泵對植物油脂一類生物大分子的縮小較為高,歸屬于較清理的機械泵(又被稱為半無汽油泵),? 不用液態氮冷阱阻攔軸承潤滑油或真空泵泵液的反流。圖上裝在真空室和分子泵中間的液態氮? 阱的適用范圍是提升 對系統水蒸汽的抽速,能夠減少烤制去氣時間。同樣的大道理,渦輪分子結構? 泵抽真空系統軟件不用粗抽阱和前級管路冷阱,粗抽時必須選用100~1050Pa的轉換壓力,就? 能合理避免 機械設備油閥根據粗抽管路轉移到真空室中去? 渦輪分子泵對氫的發動機壓縮比和前級氫分壓電路是危害極限壓力的關鍵緣故之一。減少前級氫分
壓,可以提升 渦輪分子泵的極限壓力。高發動機壓縮比的渦輪分子泵,用二級旋片真空泵作前級? 極限壓力約為5×10-9Pa,用擴散泵作前級時,可提升 到1×10-9Pa,在真空室與分子泵之? 間提升一個鈦吸咐阱或液態氮碳分子篩吸咐阱,其極限壓力可小于10-9Pa? 用以大流量的渦輪分子泵抽真空系統軟件,如刻蝕機等必須抽除放進的很多加工工藝用汽體,當進? 口壓力過高時,氣旋的摩阻會使轉速比減緩,將使對氫的發動機壓縮比快速減少。圖325是? Hanlon得出的一臺前級泵35m3/h,巴爾蔡斯企業抽速400L/s分子泵進口壓力與抽速的實? 驗曲線圖。通道壓力擴大到0.9Pa時,曲線圖出現轉折點,選用很大的前級泵,曲線圖A段將往右邊? 挪動,相反將往左邊挪動。防止抽速降低的方式是在泵入口設定過流保護閥,依據抽真空總流量不會改變? 基本原理,讓真空室保持必須的加工工藝壓力的另外,分子泵仍處在飛速運行的底壓情況