?
低溫泵長期性持續(xù)運(yùn)行,泵的泵效隨抽氣時(shí)間增加面慢慢良減,當(dāng)泵效降低到原? (3)低溫泵的較大 抽氣容量(和抽氣容量)
快,這時(shí),必須終止運(yùn)行提溫再造,用于修復(fù)泵的原來的抽氣絲必,出了ZDB? 500型制冷機(jī)低溫泵抽氫的氣容量曲線圖,超出飽和狀態(tài)抽氣容M267給? 始泵效60%時(shí),所積累抽除的總供氣量稱之為“飽和狀態(tài)抽氣容量”,圖? 衰減系數(shù)很

5000

5×1031×10215×1025×103×1
抽氫容量/PaL
圖2-67ZDB500型制冷機(jī)低溫泵抽氫容量曲線圖? 低溫泵對不一樣類型汽體的飽和狀態(tài)抽氣容量區(qū)別非常大,冷凝汽體的抽氣容量在于? 冷凝霜層的薄厚,霜層表層和超低溫板中間的溫度差△T與霜層薄厚呈正比例,馬舍? ( Ascher)得出了沒有屏蔽掉的20K超低溫板,在p=0.67Pa壓力標(biāo)準(zhǔn)下,N2霜表層? 合理冷凝指數(shù)與N2冷凝量的函數(shù)關(guān)系曲線圖如圖2-68所顯示。圖上,橫坐標(biāo)軸d為霜層? 薄厚,p為霜外表溫度相匹配的飽和蒸氣壓。依據(jù)精確測量結(jié)果,得到較大 薄厚為? 1.5毫米,均值導(dǎo)熱系數(shù)A=0.4mW/(m·K),相匹配p。的較大 溫度差△Tmx=15K。若? 用77K屏蔽掉隔板,當(dāng)進(jìn)氣口壓力一定時(shí),企業(yè)冷凝面的冷凝輸入功率比無屏蔽掉時(shí)要? 小,因此在一定的△Tmx下,可做到更高的較大 薄厚dmx。這一結(jié)果已被艾徳爾? (Eder)等的試驗(yàn)確認(rèn)。她們在制冷機(jī)低溫泵加屏蔽掉的20K涼面上,在進(jìn)氣口壓力? p=0.1~1Pa標(biāo)準(zhǔn)下開展冷凝氣體試驗(yàn),較大 薄厚做到dmx=50~100毫米,等同于60kg/m2的品質(zhì)薄厚? 活性碳超低溫吸咐氫、氖、氦的飽和狀態(tài)容量,是牽制低溫泵抽氣容量的關(guān)鍵限定因? 素。所采用的呼吸劑原材料、薄厚、活性加工工藝都危害吸咐容量,各種各樣吸咐原材料的較大

抽氣容量可依據(jù)呼吸劑的吸附等溫線明確。用以制冷機(jī)低溫泵的呼吸劑以椰子殼特異性? 炭較好是,溫克勒爾( Winkler)在T=15K測出的對H2的動(dòng)態(tài)性吸咐容量V=1.5

104Pa·L/s
(4)低溫泵的起動(dòng)壓力? 受致冷輸出功率的危害,制冷機(jī)低溫泵不能夠在大氣壓力下起動(dòng),由于髙壓下汽體的? 對流換熱和汽體的冷凝熱,使超低溫板達(dá)不上操作溫度而不可以起動(dòng)。除此之外,很多汽體? 冷凝吸咐在超低溫板上,也會(huì)危害泵的工作中使用壽命,低溫泵一切正常起動(dòng)的較大壓力稱之為起動(dòng)壓力? 般用前面泵將低溫泵預(yù)抽中數(shù)十帕下列,就可以起動(dòng)制冷機(jī)的壓力機(jī)剛開始致冷,直到制冷機(jī)的一、二級(jí)冷頭做到要求的溫度? 能夠在起動(dòng)預(yù)抽泵的另外起動(dòng)制冷機(jī),那樣就可以減少低溫泵的啟動(dòng)時(shí)間? 因?yàn)橹行⌒椭评錂C(jī)的致冷時(shí)間大多數(shù)在1h之上,遠(yuǎn)高于前面泵預(yù)抽低溫泵

(5)低溫泵的變換壓力
低溫泵剛開始對真空泵器皿抽氣時(shí),器皿內(nèi)容許的較大壓力稱之為變換壓力(起止壓力)。規(guī)定制冷機(jī)低溫泵超低溫板的熱容量可以承擔(dān)氣旋的熱沖擊性△H,它在于開啟真空閥剛開始對器皿抽氣的較大 汽體負(fù)載,依據(jù)工作經(jīng)驗(yàn)較大 氣體壓力與制冷機(jī)致冷輸出功率有以下關(guān)聯(lián)
W
式中p—變換壓力,P
V真空泵器皿容積,L
W——制冷機(jī)二級(jí)冷頭(20K)致冷輸出功率,W
或是用二級(jí)冷頭熱容量△E的試驗(yàn)值來測算容許的較大壓力

式中△E—二級(jí)冷頭的熱容量,J
△H—汽體的焓差,J/mol
p—汽體變換壓力,Pa;
氣體體積
R克分子氣體常數(shù),8.314J/(mol·K);? T汽體溫度,K。? 假定RKP400型(見表2-36)的試驗(yàn)值△E=300J,那麼針對1米3的器皿,根? 據(jù)公式計(jì)算(2-83),其變換壓力對N2為p≤160Pa? 一般生產(chǎn)流程運(yùn)用上對器皿的預(yù)抽有下列規(guī)定? ①每一次器皿曝露空氣后的預(yù)擠時(shí)間應(yīng)盡量短? ②盡量減少前面泵的返流物(尤其是氮氧化合物)對器皿的環(huán)境污染? ③前面超濾裝置要經(jīng)濟(jì)發(fā)展劃算? 依據(jù)之上規(guī)定,變換壓力應(yīng)在10-2~102Pa的范疇內(nèi),運(yùn)用于極高真空泵時(shí)? 大多數(shù)將變換壓力操縱在10-1~10-2Pa。充分考慮對油蒸汽環(huán)境污染的規(guī)定,能夠采用無? 油真空泵和渦輪增壓分子泵、磁控濺射離子泵、碳分子篩超低溫吸咐泵構(gòu)成的抽氣發(fā)電機(jī)組? 對油蒸汽環(huán)境污染規(guī)定不嚴(yán)苛的中小型器皿(1米3上下),能夠立即采用真空泵,并? 且將變換壓力提升 到40Pa,在這里壓力下抽氣方位的氣旋可以合理地阻攔機(jī)械設(shè)備油閥? 的返流。變換壓力的提升 可以明顯增強(qiáng)抽氣時(shí)間? 一般,生產(chǎn)商都是會(huì)得出不一樣型號(hào)規(guī)格的制冷機(jī)低溫泵的變換壓力,可依據(jù)加工工藝生? 產(chǎn)規(guī)定參照采用