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在高真空泵地區內,當真空技術內材料的出氣能夠忽視時,真空室的抽氣計算時間與低真空泵抽氣計算時間同樣,因為高機械泵泵效很大,這段時間很短。事實上高真空泵的抽氣時間關鍵在于材料出氣
在一開始抽氣的幾十鐘頭內,材料出氣率是自變量,因此真空室的總出氣量隨抽氣時間而? 衰減系數。測算到達某一壓力需要的時間由總出氣量和泵(或發電機組)的合理泵效的比率決策般能用查材料出氣率曲線圖和制圖方式開展測算
比如:測算抽中壓力p必須的抽氣時間流程以下。
①測算真空室均衡壓力為p時的出氣量Q,其值相當于泵(或發電機組)在壓力為p時的排量,即
Q=pS(Pa·L/s)
②測算真空室中材料面積為A的均值氣速度q,即
q=Q/A[Pa·L/(s:cm2)]
③依據材料出氣率曲線圖,查出來q的點,與此點相對性應的時間,即是做到均衡壓時所必須的時間
測算舉
碳素鋼制做的真空室置放試驗用銅錢,鋼和銅的總面積各為4×104cm2,用合理泵效為103L/s的高真空機抽氣時,室內溫度下需要得到 5×10-Pa必須是多少時間(漏汽能夠忽視)?
方式:①測算真空室的均衡壓力為5×10-4Pa時容許出氣量
Q=pS=5×10-4×103=5×10-(Pa·L/s)
②測算厚鋼板和銅錢二者的均值出氣率
Q5×10
A8×104? 6.25×10-6[Pa·L,(s·cm2)]=6.25×10-5[Pa·m3/(s
③作碳素鋼和銅錢二者累加后的均值出氣率曲線圖(圖3-10)。
①查趨勢圖3-10得:出氣率是6.25×106Pa·L/(s·cm2)時的出氣時間為0.4lh這一時間便是所愿的抽氣時間。
說
①真空室僅有一種材料時,不用作累加曲線圖,只用查出氣率曲線圖就可以
②當材料類型許多 時,可將出氣率不大(或總面積不大)的一些材料的出氣忽略

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只需要做幾類出氣率大的材料的出氣率的累加曲線圖,以使
測算簡單化? ③當材料總面積不一時,可按材料總面積倍率作累加? 線,以上例中,倘若碳素鋼的面積為銅錢總面積的20倍? 碳素鋼出氣率則應提升20倍,為此做出累加出氣率曲線圖? (3)幾類典型性真空值抽氣時間? 真空室內壓力降至原始壓力的1/2、1/10和? (e=2.718,1/c=0.368)的抽氣時間用下述計算公式
降至原始壓力的1/2時的抽氣時間
V? 6)
降至原始壓力的1/10時的抽氣時間
10=2.30三秒? (3-17)
圖3-10碳素鋼、銅錢及累加后
的出氣率曲線圖? 降至原始壓力的1/e時的抽氣時間(稱之為穩態值)? 1一碳素鋼的出氣率12一銅的出氣率
3一累加后的均值出氣率
式中V—真空室的容量,L;
S—泵(或發電機組)對真空室抽氣口的合理泵效,L/s