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? 制冷機低溫泵是把低溫面及隔板拼裝在封閉式循環制冷機系統軟件中與制冷機組合為一體的低溫? 泵,它是運用的低溫表層的低溫冷疑、低溫吸咐和低溫收集等物理變化來得到 和維持高真空泵? 和極高真空泵。其特性為:(1)便于抽真空系統軟件完成徹底機械自動化;(2)可完成較高的泵效,S? 100m3/s,能夠考慮大中型真空技術中所必須的泵效。? A制冷工作原理與循環系統軟件? 當代低溫泵為閉循環中小型制冷機式低溫泵,全部低溫泵系統軟件由低溫泵、制冷壓縮機和致冷澎漲? 機等一部分構成。致冷物質氦氣由制冷壓縮機縮小,經進氣口到離心壓縮機。這時候旁通閥門開啟,離心壓縮機? 活塞桿在專用型電動機推動下往上健身運動,使離心壓縮機下腔填滿髙壓汽體。當活塞桿抵達上端頂部時,關掉? 旁通閥,另外開啟自動排氣閥,使離心壓縮機與底壓端互通,汽體澎漲致冷,活塞桿向下移動把制冷量存儲? 在活塞桿內的蓄冷器中。這般數次循環,在一、二級冷頭處各自得到 小于80K和20K的低溫,? 并使汽體在低溫表面凝固,在活性碳上吸咐而被抽除。? 低溫泵系統軟件的關鍵是中小型制冷機,它是一種中小型閉循環氦氣澎漲制冷機?，F階段制冷機中恒? 泛選用的循環(適用T=20K的低溫循環)有:斯特林發動機循環制冷機、索爾文循環制冷機和? GM(吉福特汽車麥克馬洪)循環制冷機等。尤以斯特林發動機循環和GM循環制冷機應用較廣? 圖95是G-M循環制冷機低溫泵的工作中系統軟件,系統軟件的關鍵構件有:(1)致冷模塊:包含致冷? 機(離心壓縮機)、一、二級冷頭、低溫抽氣冷陣及泵殼;(2)氣頂模塊:氦制冷壓縮機、熱交換器、油氣分離器? 器、管道油過濾器等;(3)吸附器、閘閥等輔助元器件。該系統軟件的工作中汽體是99.998%高純度氦。? GM循環制冷機低溫泵的優勢是致冷與縮小一部分能夠分離安裝,因此 致冷一部分能夠做得不大? 震動非常容易操縱。缺陷是壓比低,交叉性較弱。G-M循環制冷機低溫泵較低溫度可達7K上下。

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B制冷機低溫泵的構造構成? 圖96為制冷機低溫泵的結構示意圖,(a)圖為一立柱式低溫泵,由制冷機2、活性炭吸附? 面4(吸咐板)、低溫冷疑面5(冷軋鋼板)、屏蔽掉隔板7、屏蔽罩9、泵體10構成。為了更好地對其運作進? 行檢測,還設立氫蒸汽壓溫度表1,其氫蒸汽壓溫泡8裝在制冷機的二級冷頭6上,該泵根據? 泵體上端法蘭盤與被抽器皿相接。當泵工作中時,因為制冷機一、二級冷頭造成低溫并制取冷? 量,促使隔板及屏蔽罩做到77~80K,冷軋鋼板及活性炭吸附面做到15~20K低溫,并不斷提供? 制冷量,因此便將器皿中可凝氣體經隔板急冷后鎖定在冷軋鋼板上,而將不能凝氣體經隔板急冷? 后吸咐在活性炭吸附表面,產生所必須的真空泵。如果是開啟式設備,則將持續注入被抽器皿的氣? 體,持續地鎖定和吸咐在冷軋鋼板及活性炭吸附表面,進而維持居所必須的真空泵。
在一些系統軟件中,在泵體的上方法蘭盤與被抽器皿中間還設定高真空泵防護閥。當泵停止工作? 時,將此閥關掉以維持被抽器皿的真空值不會改變。泵停止工作后,制冷機已不造成制冷量,冷頭逐? 漸修復常溫下。這時候鎖定在冷軋鋼板上的可凝氣體將揮發,被活性炭吸附的非可凝氣體將解析? 他們都跑到液相中去,進而產生較高的工作壓力。為安全性及排出來這種汽體在泵體上設立再造抽真空排? 出入口12,泵工作中時,它用密封性塞塞住。當關機時,泵體內工作壓力上升,根據內外壓力差將密封性塞? 頂開,殼內汽體全自動排污到空氣? 屏蔽罩9及隔板7由制冷機一級冷頭3來保持其77~80K的低溫,并不斷提供制冷量;低? 溫冷疑面5及活性炭吸附面4由制冷機的二級冷頭6維持其10~20K的低溫,并持續提供制冷量? 把必須冷疑和吸咐的汽體都冷疑和吸咐在它上邊,產生真空泵及抽真空功效? 圖9