??? 渦輪分子泵壓縮比? 式(2-21)說明較大 壓縮比規定順向和反方向傳送幾率之比理應較大 ?？唆敻窈? 夏皮羅用蒙特卡洛法測算12和2與葉片視角a、葉片間距和旋長之比5/b及其葉? 片與汽體分子結構較可幾速率比C=w/√2RT/M的函數關系見圖2-20,并得出了零流? 量標準下單極渦輪葉片的壓縮比的測算值。在s/b≤1.5直線地區，壓縮比的多數? 值與葉片速率比類似呈線性相關

(222)? exp/v√M? K

aRT? 由式(2-22)能夠看得出，壓縮比與葉片速率vBM2呈指數值關聯。對氫、氦等輕? 的汽體壓縮比不大，對氬等重的汽體壓縮比大。若葉片速率做到400M/s時，對氬? 和氫的速率比各自為1和0,3。此標值，在圖220(c)a=30°曲線圖中相匹配的壓縮比? 各自為對氫為1.6,對氬為4。葉片的角速度與葉片半經、電機轉子的角頻率呈正比例? (vB=ru),葉片頂端角速度大，挨近電機轉子管理中心，角速度和葉片間距與弦長之比均? 小。從葉片頂端到傳動軸管理中心地區，分子泵的壓縮比慢慢減少。因而設計方案分子泵的開? 般在半經的1/3處。渦輪分子泵在零總流量的較大 壓縮比只產生不在抽真空? 槽深層? 的情況下，在具體工作中時不太可能保證。而公式計算(2-22)得出的壓縮比與葉片速率、幾? 何樣子及含量的指數值關聯依然恰當。評測的K值與M平方根關聯，示于圖? 2-21中。

壓縮比試驗曲線圖的測試標準是較先將分子泵抽中極限工作壓力，關閉前級保持泵，? 隨后將汽體根據溢流閥放進分子泵的前級，慢慢上升前級工作壓力，測到的前級工作壓力與
進口工作壓力之比做為泵的壓縮比。伴隨著前級工作壓力不? 斷上升，挨近前級的葉片組較先進到過渡流，進? 入黏滯流范疇時汽體摩擦阻力擴大，使電機轉子的轉速比減少，壓縮比快速減少。渦輪分子泵的壓縮比與前級工作壓力的關聯曲線圖見圖2-22。壓縮比曲線圖樣子類似擴散泵的極限工作壓力曲線圖。一般將壓縮比減少20%做為分子泵極限前級工作壓力，超出極限工作壓力時，泵的壓縮比快速衰減系數。過高的前級工作壓力(比如忽然曝露空氣),很有可能使鄰近葉片因機械設備撞擊而毀壞

渦輪分子泵抽速? 在分子結構流范疇內，因為出射到泵進風口的氣

0

10? 10

10? 體分子數與分子結構的熱運動速度正相關，因此 ，葉

前級工作壓力? 片的凈抽速與撞擊分子結構的含量不相干，也與工作壓力
圖2-22渦輪分子泵的縮小? 不相干，其較大 抽速Smx與泵的特點幾何圖形樣子要素

比與前級工作壓力的關聯曲線圖? G和葉片圓上速率vB的相乘正相關。

2-23)? max~UBG(中)? 較好設計方案的渦輪分子泵的抽速大概正比例于轉速比。選用新材料，渦輪分子泵的? 評測抽速與被抽汽體相對性分子質量的關聯示于圖223。其對輕汽體的抽速要比例? 汽體的抽速稍高一些。渦輪分子泵抽速曲線圖的髙壓端，抽速隨進口工作壓力上升而降? 低。從抽速的平整一部分到前級泵抽速的銜接區，一般要跨過三個量級(10-5~? 10-2Pa)。當入口工作壓力上升到汽體分子結構的平均自由程低于出入口葉片盤的葉片中間? 1/10間距時，抽真空特性剛開始受到影響。擴大渦輪分子泵前級泵的抽速，可改進渦輪分? 子泵在高工作壓力端抽速曲線圖，圖224中曲線圖I、Ⅱ、Ⅲ各自為配備不一樣抽速的前? 級泵的渦輪分子泵在高工作壓力端抽速曲線圖。一般渦輪分子泵與前級泵組成時，二者? 中間的抽速比K=S分/S前在50~100中間，若用以抽除氡氣，必須配備更高的前? 級泵，針對大中型渦輪分子泵而言，采用羅茨真空泵真空泵抽真空級組是較經濟發展的前級抽? 氣系統軟件。
圖25所顯示為典型性的渦輪分子泵抽速曲線圖，曲線圖樣子與擴散泵的抽速曲線圖相? 似。分子泵的抽速是因為葉片速率和汽體分子結構抵達并進到葉片空隙的流導的相互作? 用所決策的，在分子結構流范疇內，則抽速有一跨過接近五個量級的平整一部分。對氫? 的抽速稍大的緣故是因為含量不一樣的汽體，在泵的通道葉片的流導和傳送幾率不? 同。針對除氫之外的別的汽體，抽速基本相同，由于流導反比例于含量的平方根，? 而傳送幾率大概正比例于含量的平方根，使二者互相相抵

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