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?? 超高真空校準? 超高真空計是超高真空全壓力精確測量的關鍵專用工具，為了更好地獲得精確的精確測量結果，必? 須對真空計開展校準以確保在超高真空標準下運用的可信性。除此之外，針對冷陰極電? 離規的離散系統，雖然生產商作了線形解決，但如果不開展校準仍會產生非常大誤? 差。熱陰極水解規在線形檢測范圍需要做到測量精度也必須開展校準。校準是在專? 門的超高/極高真空校準系統軟件中開展的。現階段選用的校準系統軟件有：分子結構束法校準系? 統、壓力衰減系數法校準系統軟件、流導調制法校準系統軟件和分流法校準系統軟件。? 圖4-12所顯示為選用分流法和壓力衰減系數法的非常高/超高真空校準設備，包含：極? 高真空系統軟件、超高真空系統軟件、總流量分流系統軟件和氣路系統軟件。分流法是將已經知道總流量汽體? 導入分流室，根據分流室2個流導相距非常大的小圓孔(流導比約為100:1)分流到? 極高真空校準室和超高真空校準室。在動態性標準下極高真空校準室的壓力p為：

4-10)? p=QC(1-R)(1+Rc)? 式中Q讓人分流室氣體壓力，Pa·m/? Rn極高真空系統軟件抽真空限定孔返流? C-—極高真空系統軟件抽真空限定孔流導，m3/s;? Rc—分流室分流小圓孔流導比(注入超高真空室小圓孔流導和注入極高真空室? 小圓孔流導之比)

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式中的各主要參數R、C、Rc均能夠根據試驗精準測量，Q能夠由精細微蒸汽流量計? 得出。運用校準室壓力能夠對被校準規開展肯定校準? 在沒有蒸汽流量計的標準下，能夠向分流室充進一定壓力汽體，根據小圓孔向非常高真? 空校準系統軟件打氣，穩定平衡后極高真空校準壓力被衰減系數為? p=pC1/C(l-Rp

(4-11)? 式中p穩定平衡時分流室壓力(規范壓力規精確測量),Pa;? 分流室流入校準室小圓孔流導，m3/s;? 該校準設備的關鍵性能指標為：校準室極限壓力，極高真空校準室為7.9? 10-0Pa,超高真空校準室為2.3×10-9Pa;校準壓力范疇，分流法2.1×10? 7.9×1010Pa,壓力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不確定度低于0.41%~3.5%? 運用該設備對反磁控冷陰極計和熱陰極超高真空計開展校準得出修正系數和指數? 壓力曲線圖。校準時間約為7天(包含規持續校準2天時間)。? 為了更好地考慮常見的超高真空水解計的校準規定，一般選用核對的相對性校準方式? 該方式具備校準設備構造簡易、實際操作便捷、校準高效率和應用性強等特性。比對法? 超高真空校準設備如圖4-13所顯示，校準系統軟件選用圓柱型構造，由抽制動氣室和校準室? 構成，兩室中間選用一個圓洞限定流導。被校規和參照規各自安裝在校準室地球赤道線? 的對稱性部位上。參照規采用IE514分離出來規，該規在非常高/超高真空校準設備上開展? 壓力肯定校準，不確定度1.8%。核對校準系統軟件的性能指標為：校準系統軟件極限壓力? 5×10-9Pa、壓力校準范疇10-7~10-5Pa、拓展不確定度≤10%(k=3)。

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