用于過程監測和優化產品品質的分析設備

普發真空為真空處理過程中的氣體測定提供了各種不同的分析儀。從質譜儀到復雜的分析系統，在我們這里您將會找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質譜儀 PrismaPro 是氣體分析較基礎的設備。PrismaPro 是一個普遍適用的質譜儀，其磁場軸技術保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測量速度快的特點。

并且 PrismaPro 不僅僅顯示各自的分壓，同樣也可以檢測總壓力。它的界面接口使這款質譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設計，模塊化結構和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測、半導體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設備。另外，在研發領域也有無數的應用。普發真空為其客戶在所有這些領域中提供量身定制的解決方案。當然，普發真空還提供所需的質譜儀配件，例如各種離子源陰極。

什么是質譜儀

質譜測量是一種可以用來測量原子和分子質量的方法。通過這種方式測量化學混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質首先被轉化為氣態的聚合狀態并且發生電離。電場使離子加速，使得它們在其各自的質荷比基礎上被分類和分離。然后測定氣體各種成分的分壓。每個質譜儀包括一個離子源、一個質量過濾器和一個檢測器。根據所采用的質量過濾器來區分不同類型的質譜儀 。由于其廣泛的應用選項，四極桿質譜儀具有可靠的測量表現。這些分析設備也經常用于真空技術。

質譜儀及其應用

四極桿質譜儀具有平行排列的四根電極桿，構成了四極場。它們的交點與平面垂直于圓柱體軸線，形成一個場（因此命名為四極）。靜態電場使離子加速以后，離子飛過四極場。桿之間的四極場每次只會允許給定質量的一個粒子通過，。四極桿質譜儀提供高分辨率版本以簡易版兩種型號供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬，這類質譜儀可應用于眾多領域，包括從藥理學到環境分析領域。

四極桿質譜儀是用于在真空系統中評估殘余氣體成分的經典測量儀。

質譜儀為氣體成分質量 - 電荷比供應的離子電流提供有關真空系統在多個操作階段有用的信息，無論是用于確定安裝后的氣密性和無污染性還是在操作真空處理時用于其特性。

根據真空室和抽氣系統的設計，在真空系統中獲得的壓力范圍決定了質譜儀對檢測器的選擇。在高真空中，通常一個法拉第檢測器就足夠了，而在高真空中檢測非常低的氣體密度時，一個二級電子倍增器是必要的。另一個重要標準則是待檢測的質量范圍。

在傳統的真空系統中，大氣中的氣體，例如氮氣、氧氣、氬氣、水蒸汽等，通常受到輕烴污染是重點。為了檢測這些氣體，范圍在 1 至 100 原子質量單位 (u) 之間的四極桿質譜儀是理想的，因為在該范圍內顯示了良好的質量分離。若較重的氣體及其組成成分也須檢測出來，如長鏈烴，普發真空也為此提供了范圍在 1?200 u 或 1?300 u 之間的質量過濾器。

開放的離子源在大多數殘余氣體分析任務中是較佳選擇，因為它們將穩健的設計與較高的檢測靈敏度相結合。憑借封閉或交叉束離子源，可有利地掌握必須分析氣體噴流或氣體流的任務。對于超高真空范圍，也可提供具有極低釋氣率的柵網離子源。由于有大量的部件可供選擇，且得益于普發真空四極桿質譜儀的精確配置，質譜儀可作為所有測量任務的較佳選擇。我們的產品和應用專家擁有多年的經驗，將十分樂意為您提供有關殘余氣體分析儀配置方面的一些建議。

帶有法拉第檢測器的四極桿質譜儀是用于高真空氣體成分定性分析的首選設備。

相比真空測量儀，四極桿質譜儀 (QMS) 可提供遠遠更多的有關真空的信息。在高真空中，往往一個法拉第杯就足夠用來獲取有關泄漏、水汽析出或碳氫化合物污染的信息。普發真空在此提供一系列具有不同測量范圍和燈絲材料的四極桿質譜儀。

PrismaPro? QMG 250 F1, 1–100 u, 開放式離子源

模塊化結構的緊湊型質譜儀可適合您的使用。有以下離子源可供選擇：具有極高靈敏度和線性的開放式離子源，適用于殘余氣體分析和 HV 與極高真空范圍內分析性任務。適用于與進氣系統接合的氣密離子源。適用于直接進氣的交叉臂離子源。格柵離子源特別針對極高真空內殘余氣體分析，具有極低脫氣率和解吸率。

產品描述

點擊一下即可進行泄漏檢測和真空診斷

測量方案定義簡單

指示極限低

網絡通過以太網實現

PrismaPro 緊湊型質譜儀

針對 Windows 10/8.1/7 系統的 PV MassSpec 軟件，可用于測量數據的記錄、存儲和顯示

PrismaPro? QMG 250 F1, 1–100 u, 開放式離子源, 鎢, I/O 選項: 標準

點擊一下即可進行泄漏檢測和真空診斷

測量方案定義簡單

指示極限低

針對 Windows 10/8.1/7 系統的 PV MassSpec 軟件，可用于測量數據的記錄、存儲和顯示